Dresden EFRE

SURAGUS GmbH

Untersuchung zum Messverfahren für die berührungslose in-situ Charakterisierung des elektrischen Widerstandes dünner Schichten unter Hochvakuum- und Hochtemperaturanforderungen (HotSense)

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Untersuchung zum Messverfahren für die berührungslose in-situ Charakterisierung des elektrischen Widerstandes dünner Schichten unter Hochvakuum- und Hochtemperaturanforderungen (HotSense)
Zeitraum:
01.06.2021 – 08.12.2022
Förderfähige Gesamtkosten:
315.080 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Technologietransfer und Zusammenarbeit zwischen Hochschulen und Unternehmen, vor allem zugunsten von KMU
Förderrichtlinie:
Verbundprojektförderung
Fördergegenstand:
Forschung und Entwicklung/Produktinnovationen
Fonds:
EFRE

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