Dresden EFRE

Technische Universität Dresden

Clustertool zur geometrischen Charakterisierung elektronischer und mikrosystemtechnischer Komponenten und Module unter thermischer Last (geoCharth)

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Clustertool zur geometrischen Charakterisierung elektronischer und mikrosystemtechnischer Komponenten und Module unter thermischer Last (geoCharth)
Zeitraum:
24.11.2020 – 31.12.2021
Förderfähige Gesamtkosten:
474.215 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Forschungs- und Innovationsinfrastruktur (öffentlich)
Förderrichtlinie:
RL Forschung InfraPro
Fördergegenstand:
Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur
Fonds:
EFRE

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