Dresden EFRE

Technische Universität Dresden

Verbesserte Layout- und Steuerungskonzepte von automatischen Transportsystemen in komplexen 28nm-Halbleiterfertigungen

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Verbesserte Layout- und Steuerungskonzepte von automatischen Transportsystemen in komplexen 28nm-Halbleiterfertigungen
Zeitraum:
01.05.2015 – 30.09.2017
Förderfähige Gesamtkosten:
286.046 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Technologietransfer und Zusammenarbeit zwischen Hochschulen und Unternehmen, vor allem zugunsten von KMU
Förderrichtlinie:
Verbundprojektförderung
Fördergegenstand:
Forschung und Entwicklung/Produktinnovationen
Fonds:
EFRE

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