Dresden EFRE

Unity Semiconductor GmbH

Entwicklung eines Kalibriersubstrats für die tägliche Maschinen-Qualifizierung in der Halbleiterfertigung

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Entwicklung eines Kalibriersubstrats für die tägliche Maschinen-Qualifizierung in der Halbleiterfertigung
Zeitraum:
15.06.2016 – 06.01.2017
Förderfähige Gesamtkosten:
14.875 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Forschungs- und Innovationsprozesse in KMU (einschließlich Gutscheinprogrammen, Innovationen in den Bereichen Verfahren, Design und Dienstleistung sowie sozialer Innovationen)
Förderrichtlinie:
Gewährung von Innovationsprämien für kleine und mittlere Unternehmen
Fördergegenstand:
externe FuE-Dienstleistungen
Fonds:
EFRE

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