Dresden EFRE

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Entwicklung von Atomlagen-Ätzprozessen zur schädigungsarmen Strukturierung von Halbleitermaterialien und deren in-situ Passivierung - ALEStar - (Infrastruktur)

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Entwicklung von Atomlagen-Ätzprozessen zur schädigungsarmen Strukturierung von Halbleitermaterialien und deren in-situ Passivierung - ALEStar - (Infrastruktur)
Zeitraum:
01.07.2020 – 31.05.2022
Förderfähige Gesamtkosten:
519.500 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Forschungs- und Innovationsinfrastruktur (öffentlich)
Förderrichtlinie:
RL Forschung InfraPro
Fördergegenstand:
Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur
Fonds:
EFRE

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