Dresden EFRE

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Ionenstrahlsputteranlage und In-situ-Schichtcharakterisierung

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Ionenstrahlsputteranlage und In-situ-Schichtcharakterisierung
Zeitraum:
18.12.2020 – 31.07.2022
Förderfähige Gesamtkosten:
1.755.677 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Forschungs- und Innovationsinfrastruktur (öffentlich)
Förderrichtlinie:
RL Forschung InfraPro
Fördergegenstand:
Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur
Fonds:
EFRE

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