Dresden EFRE

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Reinraumerweiterung für die Forschung an MEMS und NEMS Sensor-Aktor-Systemen auf 200 mm Wafersubstraten am Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) in Dresden

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Reinraumerweiterung für die Forschung an MEMS und NEMS Sensor-Aktor-Systemen auf 200 mm Wafersubstraten am Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) in Dresden
Zeitraum:
30.09.2015 – 31.07.2019
Förderfähige Gesamtkosten:
23.908.691 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Forschungs- und Innovationsinfrastruktur (öffentlich)
Förderrichtlinie:
RL Forschung InfraPro
Fördergegenstand:
Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur
Fonds:
EFRE

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