Dresden EFRE

GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One Limited Liability Company & Co. KG

MOL und BEOL Prozessentwicklung zur Road-map Erweiterung für die FD-SOI Technologie (FD-REX)

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
MOL und BEOL Prozessentwicklung zur Road-map Erweiterung für die FD-SOI Technologie (FD-REX)
Zeitraum:
01.02.2019 – 31.05.2022
Förderfähige Gesamtkosten:
5.282.569 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Technologietransfer und Zusammenarbeit zwischen Hochschulen und Unternehmen, vor allem zugunsten von KMU
Förderrichtlinie:
Verbundprojektförderung
Fördergegenstand:
Forschung und Entwicklung/Produktinnovationen
Fonds:
EFRE

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