Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

APECS - ENAS crucial equipment: Waferprozessing und Test

Zeitraum:

10.10.2024 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

7.210.000 €

EU-Betrag:

4.326.000 €

Ort:

Chemnitz

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Das Projekt zielt auf die Beschaffung von Forschungsausrüstung, die thematisch in „Anlagencluster 1: Anlagen zum Waferprozessing“ und „Anlagencluster 2: Test“ zusammengefasst sind. Anlagencluster 1 ist für die Forschung an Technologien zur heterogenen 2,5D- /3D-Integration ausgelegt und ermöglicht Strukturierung und Bonden von Wafern. Anlagencluster 2 fokussiert auf eine große Breite an Signalen (DC, HF, sub-THz, optisch), wie für heterogene Systeme typisch und auf Zuverlässigkeitstests.

Fonds:

EFRE