plasway-Technologies GmbH

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

Quattro_7

Zeitraum:

01.02.2023 – 18.01.2024

Förderfähige Gesamtkosten:

27.640 €

EU-Betrag:

13.820 €

Ort:

Bannewitz

Interventions­kategorie:

010 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in KMU

Förderrichtlinie:

06740 - Gewährung von Innovationsprämien für kleine und mittlere Unternehmen

Fördergegenstand:

13544 - externe FuE-Dienstleistungen

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Quattro_7 widmet sich der ALE-Prozesse u. der Integration der Insitu- PEALD Prozessführung. Ein auf H2 basierter Si-Ätzprozess soll weiterentwickelt werden. Das Interface nach H2 Ätzung Belegung muß untersucht werden (H2 Terminierung) um direkt Al2O3 abzuscheiden Aus diesem Grund soll im neuen Projekt auch ein chlor-basierender Prozess getestet werden. Als Substrat wird sowohl auf Silizium und GaN sowie GaAlAs gearbeitet.

Fonds:

EFRE