Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

O-ISA - Schaffung der gerätetechnischen Grundlage für die ionenstrahlgestützte Strukturierung von optischen Oberflächen für die Laserfusion

Zeitraum:

11.07.2025 – 30.04.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

825.000 €

EU-Betrag:

412.500 €

Ort:

Leipzig

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Ionenstrahlbasierte Formbearbeitungs-, Glättungs- und Strukturierungsverfahren haben sich in den letzten Jahren zu „Enabling-Technologien“ entwickelt, die zahlreiche High-End-Optik-Anwendungen ermöglicht haben. Mit dieser Vorhabenidee zur Verbesserung der anwendungsorientierten Forschungsinfrastruktur am IOM soll eine Ionenstrahlätzanlage realisiert werden, mit der sowohl grundlegende und insbesondere anwendungsorientierte Fragestellungen zum reaktiven Ionenstrahlätzen (RIBE) von optischen Elementen mit einer Größe bis zu 150 mm Durchmesser adressiert werden können. Mit dieser neu zu beschaffenden Anlage wird eine 40 Jahre alte und nicht mehr den aktuellen Erfordernissen entsprechende Anlage (hoher Wartungs-/Reparaturbedarf, Ausfallzeiten > 50%) ersetzt werden. Damit wird der am IOM eingeschlagene Weg bei der Technologieentwicklung von reaktiven Ionenstrahlprozessen fortgesetzt und eine neue Qualitätsstufe bei der ultrapräzisen Bearbeitung von optischen Oberflächen mit Ångström-Tiefengenauigkeit erreicht. Die geplante Anlage soll maßgeblich zur Absicherung aktueller und zukünftiger FuE-Arbeiten, insbesondere bei der Entwicklung von Bearbeitungsprozessen für Laseroptiken (Optik-Entspiegelung und Pulskompressionsgitter) für Hochleistungsanwendungen beitragen. Entsprechende Optiken sind Schlüsselkomponenten u. a. bei der Realisierung zukünftiger Laserträgheitsfusion-Kraftwerken

Fonds:

EFRE