TU Bergakademie Freiberg

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

NanoQuant - Nanofabrication Center for Quantum- and Nanoelectronics

Zeitraum:

04.07.2025 – 30.09.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

1.526.000 €

EU-Betrag:

915.600 €

Ort:

Freiberg

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Im Rahmen des Projekts NanoQuant wollen wir im Zentralen Reinraumlabor der TUBAF das erste Elektronenstrahllithographie-System Freibergs beschaffen und aufbauen. State-of-the-art EBL-Systeme bieten darüber hinaus die Möglichkeit in-situ auf ein Testbauelement metallische Kontakte zu schreiben (EBID, engl. electron beam induced deposition) sowie die kontaktierten Testbauelemente auch in-situ mittels Nanomanipulatoren elektrisch zu charakterisieren. Da die Fotolacke der optischen Lithographie chemisch oft inkompatibel zu den Lacken der EBL sind, muss eine separate Lackschleuder (spin coater) und eine hochpräzise Heizplatte (hot plate) zur Präparation der EBL-Proben angeschafft werden. Mit diesem Paket ergänzen wir die vorhandene Reinraum-Infrastruktur in Freiberg optimal und eröffnen damit die Möglichkeit quantentechnologische Testbauelemente mit den Methoden der etablierten Halbleitertechnologie zu verknüpfen. Zusätzlich zur quantenelektronischen Forschung wird das Elektronenstrahllithographie-System ein essenzieller Baustein zur Herstellung von nanoelektronischen Testbauelementen mit dem Schwerpunkt neue und für die Nanoskala optimierte Dotierungsmethoden zu erforschen. Diese versprechen unter anderem energieeffizientere Transistoren oder die Kompatibilität mit kryogenen Temperaturen, was für die Verbindung von Quantencomputern zu konventioneller Elektronik relevant ist.

Fonds:

EFRE