Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

METROPRO - Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern für „Advanced Heterogeneous“ Packaging Anwendungen im Bereich Filter und Leistungselektronik

Zeitraum:

01.07.2025 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

939.346 €

EU-Betrag:

563.608 €

Ort:

Dresden

Interventions­kategorie:

012 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in öffentlichen Forschungszentren, Hochschuleinrichtungen und Kompetenzzentren (industrielle Forschung, experimentelle Entwicklung, Durchführbarkeitsstudien)

Förderrichtlinie:

06580 - Verbundprojektförderung

Fördergegenstand:

16695 - FuE-Verbundprojekt

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Ziel des Verbund-Vorhabens ist es, berührungslose in-situ Messlösungen für elektrische Eigenschaften von Metallschichten zu entwickeln. Anwendungen liegen in der Halbleitertechnik, Quanten- und Kommunikationstechnologie. Das Vorhaben ermöglicht es sächsischen Unternehmen und F&E-Einrichtungen, Alleinstellungen im internationalen Umfeld aufzubauen und sichern die Wertschöpfung in Sachsen bzgl. der Herstellung von Messsystemen und der darauf basierenden Technologieentwicklung.

Fonds:

EFRE