SURAGUS GmbH

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

METROPRO - Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern für „Advanced Heterogeneous“ Packaging Anwendungen im Bereich Filter und Leistungselektronik

Zeitraum:

01.07.2025 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

2.104.771 €

EU-Betrag:

1.157.624 €

Ort:

Dresden

Interventions­kategorie:

010 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in KMU

Förderrichtlinie:

06580 - Verbundprojektförderung

Fördergegenstand:

16695 - FuE-Verbundprojekt

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern für „Advanced Heterogeneous“ Packaging Anwendungen im Bereich Filter, Leistungselektronik und Quantencomputing

Fonds:

EFRE