Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

METROPRO - Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern für „Advanced Heterogeneous“ Packaging Anwendungen im Bereich Filter und Leistungselektronik

Zeitraum:

01.07.2025 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

158.278 €

EU-Betrag:

94.967 €

Ort:

Moritzburg

Interventions­kategorie:

012 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in öffentlichen Forschungszentren, Hochschuleinrichtungen und Kompetenzzentren (industrielle Forschung, experimentelle Entwicklung, Durchführbarkeitsstudien)

Förderrichtlinie:

06580 - Verbundprojektförderung

Fördergegenstand:

16695 - FuE-Verbundprojekt

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Das Ziel ist die Entwicklung von berührungsloser und zerstörungsfreier Messtechnik zur Bestimmung der Schichtdicke von ultradünnen Metallschichten im Nanometerbereich. Diese Schichten werden im sog. PVD-verfahren in vollautomatisierten Produktionsanlagen auf 300mm Wafern abgeschieden. Der Anspruch ist es, die zu entwickelnde Messtechnik in die Qualitätssicherung zu integrieren und laufende Prozessabweichung zu dokumentieren.

Fonds:

EFRE