TU Bergakademie Freiberg

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

Si-BrOzone - Silicium-Ätzverfahren durch Flusssäure-Brom-Gemische und Regeneration durch Ozon

Zeitraum:

01.06.2025 – 30.11.2026

Förderfähige Gesamtkosten:

239.347 €

EU-Betrag:

143.608 €

Ort:

Freiberg

Interventions­kategorie:

012 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in öffentlichen Forschungszentren, Hochschuleinrichtungen und Kompetenzzentren (industrielle Forschung, experimentelle Entwicklung, Durchführbarkeitsstudien)

Förderrichtlinie:

06760 - FRL Validierungsförderung EFRE 2021-2027

Fördergegenstand:

16191 - Einzelprojekt-Modul Validierung

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Das Projekt „Si-BrOzone“ entwickelt ein Silicium-Ätzverfahren für die Halbleiterindustrie. Eine Mischung aus Flusssäure und Brom ersetzt Salpetersäure Gemische, wodurch Stickoxid-Emissionen vermieden und Energie für Kühlung bzw. Heizung eingespart wird. Die Regeneration von Brom mit Ozon senkt zusätzlich den Chemikalienverbrauch. Ziel ist die industrielle Validierung der Technologie, um eine umweltfreundlichere und wirtschaftlichere Alternative zu bestehenden Verfahren bereitzustellen.

Fonds:

EFRE