Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

ProQuantum - Prozess-Entwicklung für sächsische SpinQubit Pilotlinie

Zeitraum:

29.09.2025 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

1.405.222 €

EU-Betrag:

843.133 €

Ort:

Dresden

Interventions­kategorie:

012 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in öffentlichen Forschungszentren, Hochschuleinrichtungen und Kompetenzzentren (industrielle Forschung, experimentelle Entwicklung, Durchführbarkeitsstudien)

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2229 - Forschungsprojekte, anwendungsnahe

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Quanten Computing (QC) und andere Quanten-Schlüsseltechnologien gewinnen zunehmend an Bedeutung, gerade auch im Bereich der Medizinforschung, Materialentwicklung sowie der Optimierung komplexer Systeme. Um zukünftig eine resiliente Wertschöpfungskette für die dafür zugrundeliegende Hardware zu schaffen, hat dieses Projekt das Ziel, die Grundlagen für eine sächsische Pilotfertigung von Spin-Qubit basierten Quantencomputern (und zugehöriges Kompetenzzentrum) zu schaffen. Hierbei stellt das Fraunhofer IPMS ein Bindeglied zwischen den sächsischen Kompetenzen in der Substratherstellung, der Chip-Fertigung und der Systemintegration dar. Um dieses Ziel zu erreichen, sollen in ProQuantum neue Prozesse auf 200mm Scheiben (basierend auf einer bereits bestehenden 200mm Forschungslinie) für verbesserte Spin-Qubits untersucht werden (AP1), ein Upscaling auf 300mm Wafer ermöglicht werden (AP2) und Technologien zur schnellen Prozesscharakterisierung von Spin-Qubits entwickelt werden (AP3). Durch die Entwicklung dieser Technologien, können in Zukunft viele neue Möglichkeiten für die Zusammenarbeit mit Universitäten, Start-Ups, KMUs und Foundries ermöglicht und ein sachsenweites QC-Kompetenzzentrum geschaffen werden.

Fonds:

EFRE