InfraTec GmbH Infrarotsensorik und Messtechnik

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

MultiALD - Anlagen- und Prozessentwicklung für die Atomlagenabscheidung Aluminium-basierter Dünnfilme für Barriere, Aktorik und Elektronik

Zeitraum:

22.07.2025 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

296.215 €

EU-Betrag:

133.297 €

Ort:

Dresden

Interventions­kategorie:

010 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in KMU

Förderrichtlinie:

06580 - Verbundprojektförderung

Fördergegenstand:

16695 - FuE-Verbundprojekt

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

MultiALD nimmt auf Basis Al-haltiger Dünnschichtsysteme Wasserdampfbarriere- und kristalline Aktuator-Materialien in den Fokus. Die Arbeiten umfassen die quantenchemisch unterstützte Prozessentwicklung zur Schichtabscheidung, sowie die Charakterisierung. Die Funktionalität wird an Demonstratoren gezeigt. Basis ist die scia Atol 200-Anlage mit ihrem HF-Elektrodensystem, welche durch Weiterentwicklung höhere Prozesstemperaturen und eine bessere Steuerbarkeit in Plasmaprozessen ermöglichen werden.

Fonds:

EFRE