Hochschule Mittweida

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

NanoDigitaX - Bildgebungsanlage im extrem ultravioletten Spektralbereich für die digitale, hochauflösende Inspektion von Halbleiter-Nanostrukturen

Zeitraum:

15.10.2025 – 31.12.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

1.519.995 €

EU-Betrag:

911.997 €

Ort:

Mittweida

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Die geplante Geräteinvestition dient dem Aufbau einer lasergetriebenen EUV-Bildgebungsanlage zur Erforschung und Entwicklung innovativer Verfahren für die nanoskopische Inspektion in der Halbleiterfertigung. Am Laserinstitut der Hochschule Mittweida existiert bislang weder eine geeignete EUV-Quelle noch entsprechende Bildgebungsinfrastruktur. Die Anlage ermöglicht erstmals in Sachsen die Erforschung aktinischer EUV-Bildgebung mit hoher Auflösung und multimodaler Materialanalyse. Grundlage bildet die moderne Lasertechnologie der Erzeugung hoher Harmonischer (HHG), die eine kohärente, laserartige EUV-Strahlung bei deutlich geringeren Investitionskosten als etablierte EUV-Systeme (~100 Mio. €) bereitstellt. Ohne Förderung ist die Realisierung aus Haushaltsmitteln der Hochschule nicht möglich. Die Investition stärkt den profilbildenden Forschungsschwerpunkt „Lasertechnologien“ der Hochschule Mittweida und erweitert ihn strategisch um die Zukunftsfelder Halbleiterdiagnostik, Photonik und KI-basierte Bildgebung. Sie schafft die Voraussetzung für anwendungsorientierte F&E-Projekte mit Industriepartnern aus dem „Silicon Saxony“ und trägt zur Umsetzung der Innovationsstrategie des Freistaats Sachsen im Zukunftsfeld „Digitales“ bei. Langfristig leistet sie einen Beitrag zur nachhaltigen, ressourceneffizienten Halbleiterproduktion und zur Fachkräftequalifizierung im Hochtechnologiesektor.

Fonds:

EFRE