Westsächsische Hochschule Zwickau

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

WHZ-HTZ-DRIE - Reaktives Ionen-Tiefenätzen für Mikro-, Nano- und Sensortechnologie

Zeitraum:

01.10.2025 – 31.10.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

1.209.103 €

EU-Betrag:

725.462 €

Ort:

Zwickau

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Die Herstellungsprozesse von MEMS und NEMS beinhalten überwiegend die Notwendigkeit von anisotropen Plasmaätzprozessen (DRIE). Anwendung sollen diese Prozesse, innerhalb der Forschung der Westsächsischen Hochschule Zwickau, auf den Gebieten der Mikro- und Nanotechnologie in der Tiefenstrukturierung und Vereinzelung von Bauteilen finden. Die Technologie grenzt sich von vorhandenen nasschemischen Prozessen im Besonderen durch eine bessere Prozesskontrolle, sowie weniger Restriktionen im Design ab. DRIE ist somit ein integraler Bestandteil der im Hochtechnologiezentrum der WHZ entstehenden MEMS- und NEMS-Prozesslinie und somit zur Durchführung von Forschungsvorhaben auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie unverzichtbar. Beschafft werden soll eine Prozessanlage zur Siliziumstrukturierung, welche eine hohe Ätzrate, hohe Selektivität, sowie hohe Aspektverhältnisse ermöglicht, dies wird durch den sog. Bosch-Prozess erfüllt. Das zu beschaffende Gerät, soll neben der Spezialisierung auf den Bosch-Prozesses (SF6 / C4F8), gleichwohl die Möglichkeit des Ätzens von dielektrischen Schichten, insbesondere von Glas- und Siliziumnitridschichten, in einem RIE-Ätzprozess (CF4 oder CHF3) bieten. Hiermit wird allen beteiligten Nutzern der Reinrauminfrastruktur eine exzellente und anforderungsorientierte Möglichkeit der Mikrobearbeitung geschaffen.

Fonds:

EFRE