Universität Leipzig

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

SingleIon

Zeitraum:

14.07.2025 – 31.10.2026

Förderfähige Gesamtkosten:

2.867.095 €

EU-Betrag:

1.433.548 €

Ort:

Leipzig

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Die Ionenimplantation gehört seit mehr als 50 Jahren zur Standardtechnologie in der Herstellung von modernen Halbleiterbauelementen und ist entsprechend hocheffizient entwickelt. Aber Quantensysteme auf Festkörperbasis basieren auf einzelnen Atomen und Fehlstellen, die deterministisch mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen in ein Material platziert werden müssen. Die Herstellung von Quantum Systemen erfordert somit wesentlich höhere technische Anforderungen, die mit den derzeitigen Anlagen nicht erfüllt werden können. Die Universität Leipzig will diese Aufgaben mit einer Fokussierten Ionen Strahlanlage (Focused Ion Beam) lösen. Die speziell für die Aufgabe entwickelte Anlage erlaubt es, Stickstoff- oder Sauerstoffionen mit einer lateralen Ortsauflösung wenige Nanometer in den Festkörper einzubringen. Durch die jetzige Anschaffung wird das Leipziger Institut zu einem der wenigen Standorte weltweit, an dem zum Beispiel Quantensysteme wie NV Zentren in Diamant mit wenigen Nanometer Ortsauflösung erzeugt werden können. Neben den eigenen Forschungen ist es das Ziel, diese Technologie zu standardisieren und anderen Instituten und Firmen zugänglich zu machen. Das Felix-Bloch-Institut für Festkörperphysik arbeitet seit Jahren erfolgreich auf dem Gebiet der Quantentechnologie; dies hat bereits zu zwei Ausgründungen geführt.

Fonds:

EFRE