Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

Long-Term RTP - Long-Term Rapid-Thermal-Processing (RTP)

Zeitraum:

26.01.2026 – 31.03.2028

Förderfähige Gesamtkosten:

1.300.000 €

EU-Betrag:

780.000 €

Ort:

Dresden

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Mit dem Vorhaben „Long-Term RTP“ beantragt das Fraunhofer IPMS die Beschaffung einer Rapid‑Thermal‑Processing-Anlage, die hohe Aufheizraten mit langen Hochtemperaturhaltezeiten bis 1300 °C in einem Tool vereint. Damit schließt sie die Lücke zwischen vorhandenen Langzeitöfen und konventionellen RTP-Systemen. Das erweiterte Prozessfenster erlaubt die gezielte Einstellung von Gefüge, Phasen und Defekten in funktionalen Oxiden sowie von Stress- und Texturzuständen in MEMS- und CMOS-Schichten. So können neue Chiplets und Sensoren für die europäische Pilotlinie APECS industrienah entwickelt, qualifiziert und in Pilotfertigungen überführt werden. Als offene, reinraumintegrierte Forschungsinfrastruktur stärkt die Anlage die sächsische Mikro-/Nanoelektronik, verkürzt Entwicklungszeiten, senkt Ausschuss und erhöht die Attraktivität des Standorts für Industrieprojekte, Start-ups und KMU. Die Investition kann ohne EFRE-Förderung aufgrund ihres Volumens nicht aus Eigenmitteln realisiert werden, bietet aber als Querschnittstechnologie hohe Hebelwirkung für Drittmittel, Technologietransfer und die Wettbewerbsfähigkeit des Freistaats Sachsen.

Fonds:

EFRE