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Dresden EFRE
Technische Universität Dresden
Steckbrief:
- Name des Vorhabens:
- UHFO - Entwicklung einer UHF-Mikrowellen-Quellenanordnung zur optimierten Erzeugung industrieller Plasmen mit steuerbarem Substratbeschuss
- Zeitraum:
- 01.07.2026 – 30.06.2028
- Förderfähige Gesamtkosten:
- 63.710 €
- EU-Betrag:
- 38.226 €
- Ort:
- Dresden
- Interventionskategorie:
- 012 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in öffentlichen Forschungszentren, Hochschuleinrichtungen und Kompetenzzentren (industrielle Forschung, experimentelle Entwicklung, Durchführbarkeitsstudien)
- Förderrichtlinie:
- 06580 - Verbundprojektförderung
- Fördergegenstand:
- 16695 - FuE-Verbundprojekt
- Spezifisches Ziel:
- RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien
- Zweck und Errungenschaft:
- Die fortschreitende Miniaturisierung und Komplexität in der Halbleiterproduktion und Dünnschichttechnik stellt immer höhere Anforderungen an die gezielte Steuerbarkeit, Prozessstabilität, Reproduzierbarkeit und Energieeffizienz der eingesetzten Plasmaquellen. Im Vorhaben UHFO soll daher die Entwicklung einer neuen Mikrowellen Plasmaquelle für 915 MHz mit Magnetfeldunterstützung und Ionenenergiesteuerung ohne Gitter vorangetrieben werden.
- Fonds:
- EFRE