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Dresden EFRE
Chipmetrics GmbH
Steckbrief:
- Name des Vorhabens:
- Entwicklung einer Mehrmaterial-Teststruktur für die Charakterisierung metallisch-dielektrischer ASD-Prozesse
- Zeitraum:
- 11.06.2026 – 15.10.2026
- Förderfähige Gesamtkosten:
- 43.500 €
- EU-Betrag:
- 21.750 €
- Ort:
- Dresden
- Interventionskategorie:
- 010 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in KMU
- Förderrichtlinie:
- 06740 - Gewährung von Innovationsprämien für kleine und mittlere Unternehmen
- Fördergegenstand:
- 13544 - externe FuE-Dienstleistungen
- Spezifisches Ziel:
- RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien
- Zweck und Errungenschaft:
- Die Chipmetrics GmbH entwickelt eine neuartige Mehrmaterial-Teststruktur für die Untersuchung von Area Selective Deposition (ASD)-Prozessen in der Halbleiterindustrie. Zur Umsetzung des Vorhabens werden externe Forschungs- und Entwicklungsleistungen zur Entwicklung des Strukturdesigns, zur Prozessentwicklung für die Materialintegration, zur Herstellung von Prototypen sowie zur technische Erprobung und Validierung in Anspruch genommen.
- Fonds:
- EFRE