Dresden EFRE

Photronics MZD GmbH

SMARTPROD - Fertigungsqualifizierung einer neuartigen Reinigungstechnologie in der Mikroelektronik auf Basis von Phasen-Fluiden

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
SMARTPROD - Fertigungsqualifizierung einer neuartigen Reinigungstechnologie in der Mikroelektronik auf Basis von Phasen-Fluiden
Zeitraum:
01.01.2017 – 31.12.2018
Förderfähige Gesamtkosten:
101.391 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
Unmittelbar mit Forschungs- und Innovationsaktivitäten verbundene Investitionen in Infrastruktur, Kapazitäten und Ausrüstung großer Unternehmen
Förderrichtlinie:
KETs-Pilotlinien
Fördergegenstand:
Forschung und Entwicklung/Produktinnovationen
Fonds:
EFRE

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